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Bousquet, A., Granier, A., Goullet, A. & Landesman, J. P. (2006) Influence of plasma pulsing on the deposition kinetics and film structure in low pressure oxygen/hexamethyldisiloxane radiofrequency plasmas. Thin Solid Films, 514 45–51.   
Added by: Florent Boucher 2016-05-12 13:21:36 Pop. 1%
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