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Mot-clé: oxygen discharge

Pateau, A., Rhallabi, A., Fernandez, M.-C., Boufnichel, M. & Roqueta, F. (2014) Modeling of inductively coupled plasma SF6/O-2/Ar plasma discharge: Effect of O-2 on the plasma kinetic properties. J. Vac. Sci. Technol. A, 32 021303.
Added by: Florent Boucher 2016-04-29 09:26:44	Pop. 0.75%