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Bayiati, P., Tserepi, A., Petrou, P. S., Misiakos, K., Kakabakos, S. E., Gogolides, E. & Cardinaud, C. (2007) Biofluid transport on hydrophobic plasma-deposited fluorocarbon films. Microelectron. Eng. 84 1677–1680.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 22:02:30	Pop. 1%
Raballand, V., Cartry, G. & Cardinaud, C. (2007) A model for Si, SiCH, SiO2, SiOCH, and porous SiOCH etch rate calculation in inductively coupled fluorocarbon plasma with a pulsed bias: Importance of the fluorocarbon layer. J. Appl. Phys. 102 063306.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 22:02:29	Pop. 0.75%