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Aissa, A. K., Achour, A., Camus, J., Le Brizoual, L., Jouan, P. .-Y. & Djouadi, M. .-A. (2014) Comparison of the structural properties and residual stress of AlN films deposited by dc magnetron sputtering and high power impulse magnetron sputtering at different working pressures. Thin Solid Films, 550 264–267.   
Added by: Florent Boucher 2016-04-29 09:26:45 Pop. 0.75%
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