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Bousquet, A., Goullet, A., Leteinturier, C., Coulon, N. & Granier, A. (2008) Influence of ion bombardment on structural and electrical properties of SiO2 thin films deposited from O-2/HMDSO inductively coupled plasmas under continuous wave and pulsed modes. Eur. Phys. J.-Appl. Phys, 42 3–8.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:58:42	Pop. 1%
Lallement, L., Gosse, C., Cardinaud, C., Peignon-Fernandez, M. .-C. & Rhallabi, A. (2010) Etching studies of silica glasses in SF6/Ar inductively coupled plasmas: Implications for microfluidic devices fabrication. J. Vac. Sci. Technol. A, 28 277–286.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:37:33	Pop. 1%