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Haidar, Y., Pateau, A., Rhallabi, A., Fernandez, M. C., Mokrani, A., Taher, F., Roqueta, F. & Boufnichel, M. (2014) SF6 and C4F8 global kinetic models coupled to sheath models. Plasma Sources Sci. Technol. 23 065037.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:01:54 Pop. 1.25%
Li, D., Goullet, A., Carette, M., Granier, A. & Landesman, J. P. (2016) Effect of growth interruptions on TiO2 films deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition. Mater. Chem. Phys. 182 409–417.   
Last edited by: Richard Baschera 2016-10-18 09:43:35 Pop. 1%
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