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Li, D., Dai, S., Goullet, A. & Granier, A. (2019) Ion impingement effect on the structure and optical properties of TixSi1-xO2 films deposited by ICP-PECVD.
Plasma Processes and Polymers
, 16 1900034.
Last edited by: Richard Baschera 2019-08-23 13:39:11
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