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Plujat, B., Glenat, H., Hamon, J., Gazal, Y., Goullet, A., Hernandez, E., Quoizola, S. & Thomas, L. (2018) Near-field scanning microscopy and physico-chemical analysis versus time of SiCN:H thin films grown in Ar/NH3/TMS gas mixture using MW-Plasma CVD at 400 degrees C. Plasma Processes and Polymers, 15 e1800066.   
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