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Collection:  Advanced {Etch} {Technology} for {Nanopatterning} {V}
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Sarrazin, A., Posseme, N., Barros, P. P., Barnola, S., Claveau, G., Gharbi, A., Argoud, M., Chamiot-Maitral, G., Tiron, R., Nicolet, C., Navarro, C. & Cardinaud, C. (2016) PMMA removal selectivity to PS using dry etch approach: Sub-10nm patterning application. Lin, Q. & Engelmann, S. U. (Eds.), Advanced Etch Technology for Nanopatterning V Bellingham.   
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