IMN

Biblio. IMN

Liste de références

Affichage de 1 - 1 de 1 (Bibliographie: Bibliographie WIKINDX globale)
Paramètres :
Mot-clé:  Micromasking
Ordonner par

Croissant
Décroissant
Utiliser tout ce qui est coché 
Utiliser tout ce qui est affiché 
Utiliser tous les items 
Meyer, T., Girard, A., LeDain, G., Rhallabi, A., Baudet, E., Nazabal, V., Nemec, P. & Cardinaud, C. (2021) Surface composition and micromasking effect during the etching of amorphous Ge-Sb-Se thin films in SF6 and SF6 /Ar plasmas. Applied Surface Science, 549 149192.   
Last edited by: Richard Baschera 2021-04-09 11:41:07 Pop. 2%
wikindx 4.2.2 ©2014 | Références totales : 2855 | Requêtes métadonnées : 30 | Exécution de script : 0.09946 secs | Style : Harvard | Bibliographie : Bibliographie WIKINDX globale