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Sarrazin, A., Posseme, N., Pimenta-Barros, P., Barnola, S., Gharbi, A., Argoud, M., Tiron, R. & Cardinaud, C. (2016) PMMA removal selectivity to polystyrene using dry etch approach. J. Vac. Sci. Technol. B, 34 061802.   
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