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Haidar, Y., Rhallabi, A., Pateau, A., Mokrani, A., Taher, F., Roqueta, F. & Boufnichel, M. (2016) Simulation of cryogenic silicon etching under SF6/O-2/Ar plasma discharge. J. Vac. Sci. Technol. A, 34 061306.
Last edited by: Richard Baschera 2017-02-02 13:42:02	Pop. 1%
Pateau, A., Rhallabi, A., Fernandez, M.-C., Boufnichel, M. & Roqueta, F. (2014) Modeling of inductively coupled plasma SF6/O-2/Ar plasma discharge: Effect of O-2 on the plasma kinetic properties. J. Vac. Sci. Technol. A, 32 021303.
Added by: Florent Boucher 2016-04-29 09:26:44	Pop. 0.75%