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Bousquet, A., Granier, A., Goullet, A. & Landesman, J. P. (2006) Influence of plasma pulsing on the deposition kinetics and film structure in low pressure oxygen/hexamethyldisiloxane radiofrequency plasmas. Thin Solid Films, 514 45–51.   
Added by: Florent Boucher 2016-05-12 13:21:36 Pop. 1%
Granier, A., Borvon, G., Bousquet, A., Goullet, A., Leteinturier, C. & van der Lee, A. (2006) Mechanisms involved in the conversion of ppHMDSO films into SiO2-like by oxygen plasma treatment. Plasma Process. Polym. 3 365–373.   
Added by: Florent Boucher 2016-05-12 13:21:36 Pop. 1%
Zajickova, L., Bursikova, V., Franta, D., Bousquet, A., Granier, A., Goullet, A. & Bursik, J. (2007) Comparative Study of Films Deposited from HMDSO/O(2) in Continuous Wave and Pulsed rf Discharges. Plasma Process. Polym. 4 S287–S293.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 22:02:30 Pop. 0.75%
wikindx 4.2.2 ©2014 | Références totales : 2856 | Requêtes métadonnées : 38 | Exécution de script : 0.10522 secs | Style : Harvard | Bibliographie : Bibliographie WIKINDX globale