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Mot-clé:  plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
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Li, D., Elisabeth, S., Granier, A., Carette, M., Goullet, A. & Landesman, J.-P. (2016) Structural and Optical Properties of PECVD TiO2-SiO2 Mixed Oxide Films for Optical Applications. Plasma Process. Polym. 13 918–928.   
Last edited by: Richard Baschera 2016-12-14 15:59:44 Pop. 0.75%
Zajickova, L., Bursikova, V., Franta, D., Bousquet, A., Granier, A., Goullet, A. & Bursik, J. (2007) Comparative Study of Films Deposited from HMDSO/O(2) in Continuous Wave and Pulsed rf Discharges. Plasma Process. Polym. 4 S287–S293.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 22:02:30 Pop. 0.5%
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