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Meyer, T., Girard, A., LeDain, G., Rhallabi, A., Baudet, E., Nazabal, V., Nemec, P. & Cardinaud, C. (2021) Surface composition and micromasking effect during the etching of amorphous Ge-Sb-Se thin films in SF6 and SF6 /Ar plasmas. Applied Surface Science, 549 149192.   
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