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Bousquet, A., Goullet, A., Leteinturier, C., Coulon, N. & Granier, A. (2008) Influence of ion bombardment on structural and electrical properties of SiO2 thin films deposited from O-2/HMDSO inductively coupled plasmas under continuous wave and pulsed modes. Eur. Phys. J.-Appl. Phys, 42 3–8.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:58:42 Pop. 1%
Bousquet, A., Granier, A., Cartry, G. & Goullet, A. (2008) Kinetics of O and H atoms in pulsed O(2)/HMDSO low pressure PECVD plasmas. J. Optoelectron. Adv. Mater. 10 1999–2002.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:58:41 Pop. 1%
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