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Abdallah, B., Chala, A., Jouan, P. .-Y., Besland, M. P. & Djouadi, M. A. (2007) Deposition of AlN films by reactive sputtering: Effect of radio frequency substrate bias. Thin Solid Films, 515 7105–7108.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 22:02:30 Pop. 1%
Jouan, P.-Y., Le Brizoual, L., Ganciu, M., Cardinaud, C., Tricot, S. & Djouadi, M.-A. (2010) HiPIMS Ion Energy Distribution Measurements in Reactive Mode. IEEE Trans. Plasma Sci. 38 3089–3094.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:37:31 Pop. 0.75%
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