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Chanson, R., Rhallabi, A., Fernandez, M. C., Cardinaud, C. & Landesman, J. P. (2013) Modeling of inductively coupled plasma Ar/Cl-2/N-2 plasma discharge: Effect of N-2 on the plasma properties. J. Vac. Sci. Technol. A, 31 011301.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:23:32	Pop. 1%
Li, D., Goullet, A., Carette, M., Granier, A. & Landesman, J. P. (2016) Effect of growth interruptions on TiO2 films deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition. Mater. Chem. Phys. 182 409–417.
Last edited by: Richard Baschera 2016-10-18 09:43:35	Pop. 1%