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Belmahi, M., Bulou, S., Thouvenin, A., de Poucques, L., Hugon, R., Le Brizoual, L., Miska, P., Geneve, D., Vasseur, J.-L. & Bougdira, J. (2014) Microwave Plasma Process for SiCN:H Thin Films Synthesis with Composition Varying from SiC:H to SiN:H in H-2/N-2/Ar/Hexamethyldisilazane Gas Mixture. Plasma Process. Polym. 11 551–558.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:01:56	Pop. 1.25%
Bulou, S., Le Brizoual, L., Miska, P., de Poucques, L., Hugon, R., Belmahi, M. & Bougdira, J. (2011) The influence of CH4 addition on composition, structure and optical characteristics of SiCN thin films deposited in a CH4/N-2/Ar/hexamethyldisilazane microwave plasma. Thin Solid Films, 520 245–250.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:32:19	Pop. 0.75%
Bulou, S., Le Brizoual, L., Miska, P., de Poucques, L., Hugon, R., Belmahi, M. & Bougdira, J. (2011) Structural and optical properties of a-SiCN thin film synthesised in a microwave plasma at constant temperature and different flow of CH4 added to HMDSN/N-2/Ar mixture. Surf. Coat. Technol. 205 S214–S217.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:32:20	Pop. 1%
Gaboriau, D., Aradilla, D., Brachet, M., Le Bideau, J., Brousse, T., Bidan, G., Gentile, P. & Sadki, S. (2016) Silicon nanowires and nanotrees: elaboration and optimization of new 3D architectures for high performance on-chip supercapacitors. RSC Adv. 6 81017–81027.
Last edited by: Richard Baschera 2016-10-31 10:32:33	Pop. 1.5%
Jouan, P.-Y., Le Brizoual, L., Ganciu, M., Cardinaud, C., Tricot, S. & Djouadi, M.-A. (2010) HiPIMS Ion Energy Distribution Measurements in Reactive Mode. IEEE Trans. Plasma Sci. 38 3089–3094.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:37:31	Pop. 1.75%