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Belmahi, M., Bulou, S., Thouvenin, A., de Poucques, L., Hugon, R., Le Brizoual, L., Miska, P., Geneve, D., Vasseur, J.-L. & Bougdira, J. (2014) Microwave Plasma Process for SiCN:H Thin Films Synthesis with Composition Varying from SiC:H to SiN:H in H-2/N-2/Ar/Hexamethyldisilazane Gas Mixture. Plasma Process. Polym. 11 551–558.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:01:56	Pop. 0%
Bulou, S., Le Brizoual, L., Miska, P., de Poucques, L., Hugon, R., Belmahi, M. & Bougdira, J. (2011) Structural and optical properties of a-SiCN thin film synthesised in a microwave plasma at constant temperature and different flow of CH4 added to HMDSN/N-2/Ar mixture. Surf. Coat. Technol. 205 S214–S217.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:32:20	Pop. 0%