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Abdallah, B., Chala, A., Jouan, P. .-Y., Besland, M. P. & Djouadi, M. A. (2007) Deposition of AlN films by reactive sputtering: Effect of radio frequency substrate bias. Thin Solid Films, 515 7105–7108.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 22:02:30 Pop. 1%
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