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Chanson, R., Rhallabi, A., Fernandez, M. C., Cardinaud, C., Bouchoule, S., Gatilova, L. & Talneau, A. (2012) Global Model of Cl-2/Ar High-Density Plasma Discharge and 2-D Monte-Carlo Etching Model of InP. IEEE Trans. Plasma Sci. 40 959–971.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:28:39	Pop. 1%
Haidar, Y., Pateau, A., Rhallabi, A., Fernandez, M. C., Mokrani, A., Taher, F., Roqueta, F. & Boufnichel, M. (2014) SF6 and C4F8 global kinetic models coupled to sheath models. Plasma Sources Sci. Technol. 23 065037.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:01:54	Pop. 1.25%