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Aissa, A. K., Achour, A., Elmazria, O., Simon, Q., Elhosni, M., Boulet, P., Robert, S. & Djouadi, M. A. (2015) AlN films deposited by dc magnetron sputtering and high power impulse magnetron sputtering for SAW applications. J. Phys. D-Appl. Phys. 48 145307.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 18:36:41 Pop. 1.5%
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