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Aissa, A. K., Achour, A., Elmazria, O., Simon, Q., Elhosni, M., Boulet, P., Robert, S. & Djouadi, M. A. (2015) AlN films deposited by dc magnetron sputtering and high power impulse magnetron sputtering for SAW applications. J. Phys. D-Appl. Phys. 48 145307.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 18:36:41	Pop. 0.25%
El Mel, A. A., Angleraud, B., Gautron, E., Granier, A. & Tessier, P. Y. (2010) Microstructure and composition of TiC/a-C:H nanocomposite thin films deposited by a hybrid IPVD/PECVD process. Surf. Coat. Technol. 204 1880–1883.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:37:33	Pop. 0.25%