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Eon, D., Raballand, V., Cartry, G., Cardinaud, C., Vourdas, N., Argitis, P. & Gogolides, E. (2006) Plasma oxidation of polyhedral oligomeric silsesquioxane polymers. J. Vac. Sci. Technol. B, 24 2678–2688.   
Added by: Florent Boucher 2016-05-12 13:21:36 Pop. 0.5%
Haidar, Y., Pateau, A., Rhallabi, A., Fernandez, M. C., Mokrani, A., Taher, F., Roqueta, F. & Boufnichel, M. (2014) SF6 and C4F8 global kinetic models coupled to sheath models. Plasma Sources Sci. Technol. 23 065037.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:01:54 Pop. 0.75%
Li, D., Goullet, A., Carette, M., Granier, A. & Landesman, J. P. (2016) Effect of growth interruptions on TiO2 films deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition. Mater. Chem. Phys. 182 409–417.   
Last edited by: Richard Baschera 2016-10-18 09:43:35 Pop. 0.75%
Li, D., Carette, M., Granier, A., Landesman, J. P. & Goullet, A. (2015) Effect of ion bombardment on the structural and optical properties of TiO2 thin films deposited from oxygen/titanium tetraisopropoxide inductively coupled plasma. Thin Solid Films, 589 783–791.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 18:36:41 Pop. 0.75%
Pateau, A., Rhallabi, A., Fernandez, M.-C., Boufnichel, M. & Roqueta, F. (2014) Modeling of inductively coupled plasma SF6/O-2/Ar plasma discharge: Effect of O-2 on the plasma kinetic properties. J. Vac. Sci. Technol. A, 32 021303.   
Added by: Florent Boucher 2016-04-29 09:26:44 Pop. 0.5%
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