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Bouchoule, S., Chanson, R., Pageau, A., Cambril, E., Guilet, S., Rhallabi, A. & Cardinaud, C. (2015) Surface chemistry of InP ridge structures etched in Cl-2-based plasma analyzed with angular XPS. J. Vac. Sci. Technol. A, 33 05E124.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 18:36:41 Pop. 0.75%
Chanson, R., Bouchoule, S., Cardinaud, C., Petit-Etienne, C., Cambril, E., Rhallabi, A., Guilet, S. & Blanquet, E. (2014) X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the effect of temperature upon surface composition of InP etched in Cl-2-based inductively coupled plasma. J. Vac. Sci. Technol. B, 32 011219.   
Added by: Florent Boucher 2016-04-29 09:26:45 Pop. 0.5%
Eon, D., Raballand, V., Cartry, G., Cardinaud, C., Vourdas, N., Argitis, P. & Gogolides, E. (2006) Plasma oxidation of polyhedral oligomeric silsesquioxane polymers. J. Vac. Sci. Technol. B, 24 2678–2688.   
Added by: Florent Boucher 2016-05-12 13:21:36 Pop. 0.5%
Pateau, A., Rhallabi, A., Fernandez, M.-C., Boufnichel, M. & Roqueta, F. (2014) Modeling of inductively coupled plasma SF6/O-2/Ar plasma discharge: Effect of O-2 on the plasma kinetic properties. J. Vac. Sci. Technol. A, 32 021303.   
Added by: Florent Boucher 2016-04-29 09:26:44 Pop. 0.5%
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