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Affichage de 1 - 1 de 1 (Bibliographie: Bibliographie WIKINDX globale)
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Auteur: Boulard

Piet, J., Faider, W., Girard, A., Boulard, F. & Cardinaud, C. (2020) Investigation of organic precursors and plasma mixtures allowing control of carbon passivation when etching HgCdTe in hydrocarbon-based inductively coupled plasmas. Journal of Vacuum Science & Technology A, 38 053005.
Last edited by: Richard Baschera 2020-11-17 13:38:54	Pop. 1.25%