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Meyer, T., LeDain, G., Girard, A., Rhallabi, A., Bouška, M., Nemec, P., Nazabal, V. & Cardinaud, C. (2020) Etching of GeSe2 chalcogenide glass and its pulsed laser deposited thin films in SF6, SF6/Ar and SF6/O-2 plasmas. Plasma Sources Sci. Technol. 29 105006.
Last edited by: Richard Baschera 2020-11-17 14:03:42	Pop. 1.25%
Meyer, T., Girard, A., Bouška, M., Baudet, E., Baillieul, M., Nemec, P., Nazabal, V. & Cardinaud, C. (2023) Mass spectrometry and in situ x-ray photoelectron spectroscopy investigations of organometallic species induced by the etching of germanium, antimony and selenium in a methane-based plasma. Plasma Sources Sci. Technol. 32 085003.
Last edited by: Richard Baschera 2023-08-24 08:52:53	Pop. 2.75%