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Meyer, T., LeDain, G., Girard, A., Rhallabi, A., Bouška, M., Nemec, P., Nazabal, V. & Cardinaud, C. (2020) Etching of GeSe2 chalcogenide glass and its pulsed laser deposited thin films in SF6, SF6/Ar and SF6/O-2 plasmas. Plasma Sources Sci. Technol. 29 105006.   
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