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Challali, F., Mendil, D., Touam, T., Chauveau, T., Bockelee, V., Sanchez, A. G., Chelouche, A. & Besland, M.-P. (2020) Effect of RF sputtering power and vacuum annealing on the properties of AZO thin films prepared from ceramic target in confocal configuration. Materials Science in Semiconductor Processing, 118 105217.   
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