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Elmonser, L., Rhallabi, A., Gaillard, M., Landesman, J. P., Talneau, A., Pommereau, F. & Bouadma, N. (2007) Modeling of the chemically assisted ion beam etching process: Application to the GaAs etching by Cl-2/Ar+. J. Vac. Sci. Technol. A, 25 126–133.   
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 22:02:31 Pop. 0.75%
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