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Duquenne, C., Tessier, P. Y., Besland, M. P., Angleraud, B., Jouan, P. Y., Aubry, R., Delage, S. & Djouadi, M. A. (2008) Impact of magnetron configuration on plasma and film properties of sputtered aluminum nitride thin films. J. Appl. Phys. 104 063301.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:58:41	Pop. 1.5%
Duquenne, C., Djouadi, M. A., Tessier, P. Y., Jouan, P. Y., Besland, M. P., Brylinski, C., Aubry, R. & Delage, S. (2008) Epitaxial growth of aluminum nitride on AlGaN by reactive sputtering at low temperature. Appl. Phys. Lett. 93 052905.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:58:41	Pop. 1.75%