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Collection: Journal of Vacuum Science & Technology B

Sarrazin, A., Posseme, N., Pimenta-Barros, P., Barnola, S., Gharbi, A., Argoud, M., Tiron, R. & Cardinaud, C. (2018) Block copolymer selectivity: A new dry etch approach for cylindrical applications. Journal of Vacuum Science & Technology B, 36 041803.
Last edited by: Richard Baschera 2018-08-20 09:24:00	Pop. 1.25%