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Chanson, R., Rhallabi, A., Fernandez, M. C., Cardinaud, C., Bouchoule, S., Gatilova, L. & Talneau, A. (2012) Global Model of Cl-2/Ar High-Density Plasma Discharge and 2-D Monte-Carlo Etching Model of InP. IEEE Trans. Plasma Sci. 40 959–971.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:28:39	Pop. 1%
Jouan, P.-Y., Le Brizoual, L., Ganciu, M., Cardinaud, C., Tricot, S. & Djouadi, M.-A. (2010) HiPIMS Ion Energy Distribution Measurements in Reactive Mode. IEEE Trans. Plasma Sci. 38 3089–3094.
Added by: Laurent Cournède 2016-03-10 21:37:31	Pop. 1.75%